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北京恒奧德儀器薄膜測(cè)厚儀操作使用原理

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詳細(xì)介紹

薄膜測(cè)厚儀的操作使用原理主要基于以下幾種物理測(cè)量方法?

 

?機(jī)械接觸式測(cè)量方法?:這種方法將預(yù)先處理好的樣品置于設(shè)備測(cè)量臺(tái)面上,測(cè)量頭以一定的壓力落到試樣的另一面上,傳感器檢測(cè)上下測(cè)量面之間的距離,即為薄型試樣的厚度。這種方法適用于各種單層薄膜材料或者紙張等平面材料的厚度測(cè)量?12。

 

?磁感應(yīng)法?:利用磁感應(yīng)原理,通過測(cè)量磁場(chǎng)在薄膜中的變化來(lái)推斷薄膜的厚度。當(dāng)測(cè)頭(帶有磁場(chǎng)的部件)接近或接觸薄膜時(shí),薄膜對(duì)磁場(chǎng)的影響會(huì)導(dǎo)致磁通量的變化,通過測(cè)量這種變化可以計(jì)算出薄膜的厚度。這種方法主要適用于導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度的測(cè)量,如金屬表面涂層、電鍍層等?23。

 

?光學(xué)干涉法?:當(dāng)一束光波或電磁信號(hào)照射到材料表面時(shí),一部分光或信號(hào)會(huì)被反射,另一部分會(huì)透射。在薄膜表面和底部之間,這些光波或電磁信號(hào)會(huì)經(jīng)歷多次反射和透射,形成干涉現(xiàn)象。通過測(cè)量反射和透射光波的相位差,可以計(jì)算出薄膜的厚度。這種方法適用于各種材料的薄膜厚度測(cè)量?24。

 

?X射線吸收法?:使用X射線穿過薄膜,并測(cè)量透射的X射線強(qiáng)度。不同厚度的薄膜會(huì)吸收不同量的X射線,因此可以通過測(cè)量透射X射線的強(qiáng)度來(lái)推斷薄膜的厚度。這種方法適用于各種材料的薄膜厚度測(cè)量,特別是對(duì)于較厚的薄膜或需要高精度測(cè)量的場(chǎng)合?2。

 

?電容法?:通過在薄膜上施加電場(chǎng),并測(cè)量電容的變化來(lái)計(jì)算薄膜的厚度。由于薄膜的厚度會(huì)影響其電容值,因此可以通過測(cè)量電容的變化來(lái)間接得到薄膜的厚度。這種方法特別適用于電介質(zhì)薄膜的厚度測(cè)量?


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